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技术成就

产品研发

 

时间 研发成果
1998年3月  国内第一张大面积高精度铬版掩膜版
2002年6月  国内第一套彩色滤光片用掩膜版
2002年2月  国内第一张大面积石英铬版掩膜版
2005年12月  国内第一张激光束光刻直写Reticle掩膜版(0.5um IC用掩膜版)
2006年1月  国内第一张彩色液晶显示器用大面积石英掩膜版
2007年3月  国内第一张OLED用大面积铬版掩膜版
2007年8月  国内第一张5代TFT用掩膜版生产线
2008年3月  国内第一张5代TFT用掩膜版
2010年5月  国内第一张6代TFT用掩膜版
2010年6月  国内第一张AMOLED用掩膜版测试版
2011年4月  国内第一张8096 TP掩膜版
2012年1月  国内第一张4.5代AMOLED用掩膜版
2014年4月  国内第一张8.5代TFT-LCD掩膜版
2015年2月  国内第一张5.5代LTPS用掩膜版
2016年10月  国内第一张6代LTPS用掩膜版

 

设备研发

 

时间 研发成果
2003年12月  国内第一台高精度长尺寸测量仪
2006年5月  国内第一台LCVD设备研制成功
2007年3月  国内第一台CD测量机、第一台贴膜机
2010年5月  国内第一台PDP壁障修补机
2011年3月  国内第一台TFT面板修补设备
2012年5月  国内第一台TFT检查设备
2015年12月  国内第一台LRCD1500型LCVD修补机
2018年5月  国内第一台8.5代CD测量机
2018年11月  国内第一台8.5代贴膜机

 

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