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铬版如何保存?
2008-01-15 14:18:07
(已经被浏览2613次)
答
: 铬版为硬掩膜版, 为防止其变形, 需要竖直存放, 为了保证掩膜版表面的洁净度, 一般要保存在1,000级以上的无尘室内, 湿度要维持在40-60%RH左右. 因为铬版的基材是玻璃, 如果需要对铬版长期保存, 则需要保持在干燥的环境里, 以防止玻璃出现发霉现象, 影响光学性能.
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