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IC AOI已通过验收

日期:2013年5月20日 15:56

        2013公司重点项目—IC AOI KLA某型号引进,经过大家共同努力及公司各部门大力协助下,克服了重重困难,经过一个多月的安装调试,设备的各项性能已完全达到设备性能指标,于3月底已经通过公司验收。

        该型号KLA AOI是公司应对0.25um节点而开发而引进的的检测设备,其最高检查缺陷能力可以达到200nm,可检版材尺寸为5”、6”、7”三种,该设备的检查方法主要有D-D、D-DB、Starlight三种,其中前两种主要是检查MASK的硬缺陷,后者主要检查软缺陷。

        目前该设备正处于试生产阶段,预计5月份可以正式投产,设备投产后一方面可以有效缓解公司检查设备短缺的压力,另一方面为公司开拓IC MASK市场提供助推力。

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