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LMM线缝宽(CD)测量机
LMM系列大面积高精度线宽测量机,通过手动或根据设计的测量程序自动对工件线路进行线宽及套合测量,保证线路宽度及套合精度,测量精度可达到5nm

应用领域:
1.FPD(LCD、OLED、PDP等)、IC封装、高精度PCB (HDI,BGA、CSP等) 、 Photomask、模具及其他电子行业基板的精密测量。
2.线、缝宽度、圆直径、圆度、圆环宽等小尺寸的精密测量。