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CMM坐标测量机系列
CMM系列大面积高精度坐标测量机,通过手动或根据设计的测量程序自动对工件进行坐标及长度测量,测量精度可以达到0.1μm,测量面积可达到1500*1850

应用领域:
1.FPD(LCD、OLED、PDP等)、IC封装、高精度PCB (HDI,BGA、CSP等) 、 Photomask、模具及其他电子行业基板的精密测量。
2.长度及套合尺寸的精密测量,线、缝宽度、圆直径、圆度、圆环宽等小尺寸的精密测量,以及平整度的测量。
3..其余大面积工件高精度长度及二维坐标测量场合。