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TFT Mask 规格

1、Normal Mask size (Unit: mm)

TFT ARRAY TFT CF
152.4×152.4×6.4 450×550×5.0
330×450×5.0 508×609.6×5.0
390×610×6.0 700×800×8.0
520×610×10.0 800×920×8.0/10.0
520×800×10.0 800×960×8.0/10.0
800×920×10.0 850×1200×10.0
850×1200×10.0 850×1400×10.0
1220×1400×13.0 1220×1400×13.0

 

2、CD Specification (Unit: um)

Grade GTM C B A
TFT ARRAY ±0.1 ±0.2 ±0.35 /
TFT CF 0.2 ±0.35 ±0.50 ±0.75

 

3、LTPS Mask Specification (Unit: um)

CD MTT CD Uniformity Registration
0.1 ±0.1 ±0.3