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网站首页 >> 光掩膜的制作要求

光掩膜制作对环境的要求:

1、恒温恒湿:

温度:23±0.5℃(10级净化房),23±0.3℃(1级净化房)
湿度:50±5%RH

2、超级净化:
大多数区域:10级净化
局部区域:1级净化(每立方英尺的空间内,直径大于0.5微米的尘埃颗粒数不能超过1个)。

 


光掩膜制作人员的要求:
1、心态平稳,作业期间任何时候都能保持沉着冷静。
2、言行举止任何细节都达到净化要求。
3、娴熟的操作技能,任何一个细微动作都次次做对。